真空泵的极限真空单位是Pa,将真空泵在入口处与规范实验检测容器相连并按规则条件作业,放入待测的气体后,进行长期接连抽气,当容器内的气体压力不再下降而保持某一固定值时,此压力称为泵的极限真空。该值越小则越挨近理论真空。
一般真空表测得的真空值(即表压)为相对真空度,用负数表明,是指被测气体与大气压的差值。工业生产和实验室中常用的真空泵有旋片式真空泵和水环式真空泵,旋片式真空泵及真空油泵,密封介质是真空油,因为油的饱满蒸汽压比较来说较高,所以旋片式真空泵的真空度比较来说较高,水环式真空泵的密封介质是水,相对于油的密封性,水作为密封相对差些,所以水环式真空泵适合于抽粗真空和抽气速率较大的工况。