真空泵在其作业压强下，应及时排走真空设备工艺过程中发生的悉数气体量。正确地组合真空泵。因为真空泵有挑选性抽气，因此，有时选用一种泵不能够满意抽气要求，需求几种泵组合起来，相互弥补才干满意抽气要求。如钛提高泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速，两者组合起来，便会使真空设备得到较好的真空度。
真空泵不能在大气压下作业，需求预真空，有的真空泵出口压强低于大气压，需求前级泵，故都需求把泵组合起来运用。真空设备对油污染的要求。若设备严厉要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严厉，能够再一次进行挑选有油泵，加上一些防油污染办法，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能到达清洁真空要求。
真空泵应装置在地上健壮巩固的场所，周围应留有充沛的地步，便于查看、保护、保养。真空泵底座下应坚持地基水平，底座四角处主张垫减震橡皮或用螺栓浇制装置，保证真空泵工作平稳，振荡小。
真空泵与体系的衔接管道应密封牢靠，对小真空泵可选用金属管路衔接密封垫选用耐油橡胶，对小真空泵可选用真空胶管衔接，管道管径不小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。
1.动环和静环外表须光亮，不得有任何划伤，密封面的平面度坚持 在0.87um之内。
3.绷簧无裂纹、锈蚀等缺点，绷簧两头面与ZX线，同一机械密封中各绷簧之间的自在高度差不大于0.5mm。
4.动环和静环密封端面的瓢偏应不大于0.02mm，两头面的不平行度应不大于0.04mm。
1.支承环和起浮环及轴上装置起浮环的部位，应光亮无损伤；起浮环和支承环的密封端面应进行涂色查看，要求触摸杰出。
4.支承绷簧应无缺点，同组起浮环支承绷簧的自在高度误差，应不大于0.5mm。
机械真空泵漏油部位多在轴封、放油孔、油窗、油箱等处，底子原因是磨损时刻过长，密封件损坏或安装不良，未压紧和上紧螺钉时用力不均而形成。发现某处漏油时，修理作业者和操作者应立即采纳必定的办法，不该习以为常，以为“小毛病”不伤大雅而听之任之。不然久而久之将引起泵漏气或损坏。漏油并不难处理，只须先放出泵油，拆开走漏处以互换密封件即可。前已介绍过轴封漏的处理办法，对放油孔渗漏，可用铅板、橡胶纸板、耐油真空橡皮板等作成垫换上，对油窗等其他密封处漏油可相同处理。箱体自身掺漏较少见，多由砂眼引起，可运用环氧树脂等堵漏剂将其封死。
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